Both-Side Drilling Machine（双面钻孔机）
全球首创双主轴同步微孔钻孔机。两根主轴从工件两面同时钻削——消除传统钻孔中因翻转工件而产生的同心度缺陷。
多台ANT-BSSD500正在生产线上同时运转。每台设备的设计、制造、组装与测试,全程由总部独立完成——任何环节均无外包。设计您机器的工程团队,正是交付后为您提供售后支持的同一团队。
从原料铸造到最终校准——每一道工序均在我们的工厂内完成。精密加工、电气组装、CNC控制器集成、主轴校准以及完整的功能测试,均在设备出厂前全部完成。
双面同步钻孔与水平式结构,同时提升加工品质、可加工性与生产效率。
消除工件翻转工序——传统钻孔中同心度误差的最大来源。
水平方向的孔轴使切屑得以自然排出——实现真正深孔钻孔的关键所在。
专门用于硬度1,000 Hv以上难加工脆性材料的孔加工。
基于金刚石刀具的精密加工技术,最大限度减少崩边与微裂纹。
同时适用于:多晶硅 · SiC · 氧化铝陶瓷 · 石墨 · 蓝宝石
干法蚀刻、CVD、ALD腔体中的耗材零部件含有数百至数千个精密孔。ANT-BSSD500正是为这类微孔加工而设计。
干法蚀刻腔体内的等离子体生成电极。需在两面加工数百至数千个贯通孔。
CVD/ALD腔体的气体分配部件。需要高精度孔阵列以实现均匀气流分布。
双面同时钻孔与水平式结构均受新汉纳米科技专利保护——直接转化为加工品质、可加工性与生产效率的全面提升。
韩国专利第10-1579164号。标准规格——可定制设计。
| 设备容量 | |
| 最大行程 (X, Y, Z1, Z2 轴) | 480 × 480 × 140 × 140 mm |
|---|---|
| 最大速度 — X, Y 轴 | 6 m/min |
| 最大速度 — Z1, Z2 轴 | 8 m/min |
| 工件尺寸 | 最大 Ø400 mm, 最大 t 20.0 mm |
| 进给单元 | |
| Z1, Z2 轴电机 | 1.4 kW 交流伺服电机 |
| X, Y 轴电机 | 2 kW 交流伺服电机 (带制动) |
| 主轴单元 (德国 FISCHER) | |
| R.P.M. | 4,000 ~ 25,000 RPM |
| 刀柄 | HSK-E25 |
| 输出功率 | 1 kW |
| 钻头直径范围 (PCD) | 最小 Ø0.30 mm ~ 最大 Ø3.0 mm |
| 换刀方式 | 刀柄 — 手动换刀 |
| 冷却液 | |
| 油箱 · 泵 | 220 ℓ, 30 ℓ/min |
| 主轴冷却单元 | 2,500 kcal |
| 控制器 | |
| CNC 控制器 | FANUC-OiMF-PLUS |
| 辅助设施 | |
| 主电源 | 220 V ± 10 V |
| 压缩空气 (干燥洁净空气) | 5 ± 0.5 bar, 120 ℓ/min |
| 环境温度 | 22 ~ 26 °C / 湿度 ≤ 60% |
| 占地面积 | |
| 设备尺寸 (W × L × H) | 1,900 × 2,900 × 2,700 mm |
| 安装空间 | 3,200 × 4,200 × 3,000 mm |
| 重量 | 6,200 kg |